HOME »  製品紹介 »  スパッタリング・ターゲット »  ラインナップ

ラインナップ

スパッタリングターゲット製品ラインナップ

関連分野 組成 用途(例)
有機EL Ag、Ag合金 反射電極
WOx系、MoOx系 ホール注入層
液晶、タッチパネル In2O3 帯電防止膜
AZO-lown ガスバリア膜
半導体 Al、Al合金、Cu、Ni、Au、Ti 電極、配線材
GeSbTe系、Si メモリー
TiW 拡散バリア膜
Au、Ag合金、Ni Siウエハ裏面処理膜
Si マスク
LED TiW、Ag、Al、ZnO系 拡散バリア膜等
WOx系、MoOx系 ホール注入層
Ag、Ag合金 反射膜
AZO-lown ガスバリア膜
太陽電池 Cu、CuGa系 吸収層
ZnO系 透明導電膜及びバッファ層
その他 サイアロン、SiC サーマルヘッド耐摩耗層
Si、Nb、Nb2O5 反射防止膜

各種円筒ターゲットにも適合

HOME ページの先頭へ戻る