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三菱マテリアル電子材料事業

コンテンツ開始

シリコン加工品

高純度、高精度な各種シリコン精密加工品を提供しています。

固有技術を結集

三菱マテリアルグループでは、半導体用ポリシリコンやシリコンウェーハ等の製造を長年続けてきました。三田工場では、これらの固有技術を生かし様々な用途に対応するシリコン精密加工品を製造・販売しています。

シリコンウェーハ 柱状晶シリコン シリコン精密加工品

特長

シリコン精密加工品に使用する素材例

結晶 単結晶・柱状晶など
純度 6-8N
タイプ P型(Bドープ)
比抵抗 0.00001-1Ω・m (0.001-100Ω・cm)

シリコン精密加工品