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三菱マテリアル電子材料事業

コンテンツ開始

めっき特性めっき液

環境への対応

優れたウェハ面内高さ、組成ばらつきおよび平滑な表面バンプを形成できます

代表例として、高速タイプSnAgめっき液TS-507は3.5~7.5(µm/min)のめっき速度においても優れたウェーハ面内高さ・組成ばらつきで更に平滑な表面のバンプを形成できます。

ウェハ面内での高さ均一性(コプラナリティー)
めっき速度によるバンプめっき外観
リフロー後のバンプX線透過写真
環境への対応