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三菱マテリアル電子材料事業

コンテンツ開始

スパッタ・蒸着膜の代替としての薄膜形成用AuSnペーストAuSnペースト

セルフアライメントを利用した被搭載素子の接合位置向きの自動制御

ペーストを用いた印刷でも容易にAuSn合金薄膜を形成できます

必要な個所のみに、短時間でAuSnペーストを供給でき、リフロー処理することで容易にAuSn薄膜を形成できます。ステンシルマスク及びペースト仕様を選定することで<5µm厚のAuSn薄膜が得られます。

ペースト印刷法で得られた厚み4µmのAuSn薄膜の断面写真
セルフアライメントを利用した被搭載素子の接合位置向きの自動制御