太陽電池製造装置用シール部品

概要

半導体製造装置・液晶装置用シールとして培った技術に基づく豊富な材料と独自の最適計上設計技術による高信頼性製品の提供。

用途例

スリットバルブシール、チャンバーリッドシール、搬送パッド、配管等

[高真空を実現]

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三菱電線工業株式会社 シール事業本部 営業部

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