半導体用塗布拡散剤

概要

原料に塩素を含まないため、腐食によってスピンコーター等の装置をメンテナンスする必要がありません。

用途例

シリコン半導体のN型ドープ剤（バイポーラIC、Bi-CMOS等）

[Sb系塗布拡散剤]

お問い合わせ

高機能製品カンパニー 電子材料事業部 営業部

TEL：03-5252-4037

メールでのお問い合わせはこちら

関連ウェブサイト

三菱マテリアル電子化成株式会社

https://www.mmc-ec.co.jp/biz/mcd/