半導体用塗布拡散剤

概要

原料に塩素を含まないため、腐食によってスピンコーター等の装置をメンテナンスする必要がありません。

用途例

シリコン半導体のN型ドープ剤（バイポーラIC、Bi-CMOS等）

[Sb系塗布拡散剤]

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