溶胶液（薄膜形成剂）

所谓溶胶液，指含有了烃氧基金属等的薄膜形成用溶液，主要用于半导体和MEMS领域。
主要通过旋涂法在Si晶片上涂布溶胶液，然后通过热处理，可以容易地获得均一组成和厚度的PZT、BST、SBT、BLT等强电介质和LSCO等氧化物薄膜。

三菱综合材料株式会社的PZT溶胶液，因为分解性能高，所以可以稳定地获得结晶性高的PZT膜。
此外，在使用溶胶液的形成薄膜时，由于膜质受到旋涂和热处理等成膜条件的影响较大，客户建立成膜工艺需要时间和精力。从这一点上，三菱综合材料株式会社也非常有经验，可以向客户建议最佳的条件。

三菱综合材料株式会社的PZT E1液，是具有长年经验的标准液。但在最近的MEMS用途中，对2µm左右的较厚的PZT膜的需求逐渐增多。
使用以前的E1液实现2µm的成膜需要反复进行20次以上的成膜。针对减少成膜次数的需求，本公司新开发了10次涂布即可获得2µm的PZT膜的N液。

使用溶胶液进行PZT成膜，受到旋涂和加热条件等的影响较大，客户建立条件需要花费很长的时间和精力。
所以，三菱综合材料株式会社与设备制造商共同努力建立组合了设备和溶胶液的整体解决方案（TKS）。因此，客户无需很长的开发期间，即可实现PZT膜的量产。

除了PZT外，也可以提供BST、SBT、BLT等强电介质材料和LSCO等氧化物薄膜材料。关于详细内容，敬请咨询。

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