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TCO用AZO系ターゲット

ITOに代わる導電性透明膜

AZO(Al2O3-ZnO)は、透明膜でありながら高い導電性をもつ、いわゆるTCO(Transparent Conductive Oxide)膜を成膜できるターゲットです。
AZOは、高価で人体への悪影響が懸念されるIn2O3を使用するITO(In2O3-SnO2)の代替材料として、近年注目を集めています。

三菱マテリアルのAZOターゲットの特長

  • 高密度化と組織の均一化による安定した放電特性
  • お客様の用途に応じて、最適な組成をご提案します。一例としてAZOのバンドギャップを広げた当社独自組成の材料は、太陽電池用透明導電膜として、変換効率を向上させることができます。さらに従来のAZOに比べ可視光短波長域の透過率が高いという特長があり、高透過率が求められる用途への適用が可能です。

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