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円筒型Ag合金ターゲット

円筒型ターゲットはそれを回転させながらスパッタすることにより円筒外面にエロージョンが形成され、最大80%を超える高い利用効率が得られるという特長を有し、近年、注目が高まっています。
三菱マテリアルのAgおよびAg合金円筒ターゲットは継ぎ目の無い長尺形状に対応可能で、金属組織を微細かつ均一に制御することによって、大面積の基板に均質な膜を形成することができます。
Low-E ガラス、薄膜太陽電池、フラットパネルディスプレイなどの大型基板への成膜工程の効率化に、ご検討ください。

円筒型Ag合金ターゲット

次は、使用済ターゲット/銀のリサイクルについて紹介します。

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