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世界最大級のAg合金ターゲット

フラットパネルディスプレイ用マザーガラスの大型化に伴い、ターゲットにも大型化が求められています。三菱マテリアルは、スパッタ中のアーク放電やパーティクルの抑制に有利な、継ぎ目の無い一体物の大型Ag合金ターゲットの製造技術を確立し、安定供給を可能にしました。

世界最大級のAg合金ターゲット

世界最大級のAg合金ターゲット

次は、近年注目が高まっている円筒型Ag合金ターゲットを紹介します。

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