三菱マテリアル

プレスリリース

2020年12月23日

三菱マテリアル株式会社

有機EL・液晶 TFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット
「DIABLA(ディアブラ)」を開発、量産開始

三菱マテリアル株式会社の高機能製品カンパニー電子材料事業部は、ディスプレイTFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット「DIABLA(ディアブラ)」を開発し、量産を開始するとともに、製品ブランド「DIABLA(ディアブラ)」シリーズを新たに立ち上げることとしましたので、お知らせいたします。

スパッタリングターゲットは、対象とする電子基板に原子レベルで合金や金属酸化物等の物質を付着させ、薄い膜を形成するための電子材料です。そのうち、黒化膜用スパッタリングターゲットは、有機ELや液晶パネルのTFT配線上への成膜によって配線を黒化し、TFT配線の可視光反射率を下げる(低反射化)ために使われています。このたび開発した「DIABLA(ディアブラ)」は、以下の特長と効果を有しており、従来製品と比べ、各種ディスプレイの更なる高精細化やデザインの自由度向上や半導体関連製品等の配線反射光によるノイズ低減に寄与します。

【DIABLAの特長と効果】

1)配線上への成膜後に可視光の低反射化が可能
従来製品と比べて、低反射化が可能となります。

2)反応性ガス不要でDCスパッタ可能
従来製品と比べて、大型基板における膜の均質性に寄与します。

3)成膜後、配線と一括でエッチング加工が可能
お客様の既存エッチング工程に合わせて材料を調整することで、既存工程を変更することなく、配線と一括でエッチングが可能となります。また、お客様のスパッタ条件の合わせこみについても当社がサポートいたします。

4)高い耐熱性と水・アルカリに対する耐性を有する
水やアルカリに対する耐性を有していることに加え、高い耐熱性も保有しているためTFT配線加工工程において、膜の特性が変化することがありません。

参考図:従来製品とDIABLAの反射率の違い 従来製品とDIABLAの反射率の違い (画像をクリックして拡大イメージを表示)

現在、各種ディスプレイTFTの製造工程に高い親和性を有するDIABLAのラインナップを取り揃えておりますが、今後もお客様のご要望に合わせてラインナップの拡充を図ってまいります。
当社グループは、「ユニークな技術により、人と社会と地球のために新たなマテリアルを創造し、持続可能な社会に貢献するリーディングカンパニー」となることをビジョンとして掲げております。今後も材料技術により付加価値を高めた製品の開発を行い、お客様に無くてはならない最適なソリューションを提供してまいります。

DIABLAの外観 DIABLAの外観

<本件に関するお問い合わせ>
コーポレートコミュニケーション部 広報室:03-5252-5206

<製品に関するお問い合わせ>
高機能製品カンパニー電子材料事業部営業部機能材料グループ
03-5819-7320 URL:https://www.mmc.co.jp/adv/ele/ja/index.html

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