続つづきはし橋 浩こうじ司佐ささき々木 貴たかひろ広中経2030My Challenge シリコンパーツ開発部では、生産性向上を重視して日々の仕事に臨んでいます。私たちが携わる半導体関連市場は変化が激しいため、市場の動向を把握し、タイムリーに設備投資をして供給しないと、他社との競争に勝つことはできません。中経2030達成に向け、市場動向に合わせた安定的な供給ができるように、柱状晶シリコンの生産体制を構築していく必要があります。 私は、当社の柱状晶シリコンがQCDいずれの面においても世界で一番だと信じています。半導体の未来を見据え、将来の需要に対応できる体制の確立が私たちの使命です。三菱マテリアルグループの一員として、今回の増産を通じ、半導体産業の発展にさらに貢献していきます。中経2030My Challenge 私は鋳造工程の現場指揮を担当しています。ヒューマンエラーによる損失を減らし、現場の円滑なコミュニケーションを心がけ、製品の歩留まりが高い状態を目指しています。 シリコン製造は、鋳造炉の温度管理が■を握ります。固形のシリコンを熱して溶かした後、冷やして固めるため、一定の温度に保つ管理技術が求められます。また鋳造時に、型から取り出しやすくするため、さまざまな工夫を積み重ねています。今後の増産にあたっては、中経2030達成に貢献できるように、安定した製造と品質維持を続けていきます。さまざまな形状に加工されたインゴットシリコンの原料は、加熱によって一度溶かして液体にした後、冷却して固めています。この冷却時に、下部から上部へ一方向に結晶成長をさせて、凝固させるプロセスが「一方向凝固法」です。 柱状晶シリコンは、柱のような形状の結晶構造を持つシリコンです。この柱状の結晶構造をつくるには、鋳造時に下から上へ「一方向」に結晶を成長させて凝固します。 柱状晶シリコンの開発で中核となる技術が、この「一方向凝固法」です。この方法により下から結晶を成長させ、体積膨張を排除し、力を上方向へ解放します。 液体のシリコンを固めると、内部が割れて亀裂が入ることがありますが、一方向に固めて力を開放することで割れにくくしているのが特長です。 もう一つの特長は、不純物が上へと移動して排出されるため、シリコンの純度を高められることです。 現在、半導体製造装置市場では主に「単結晶シリコン」が使用されていますが、装置設計上の自由度は、柱状晶シリコンよりも低いのが現状です。柱状晶シリコンは、大型の部材を提供できるだけでなく、単結晶シリコンやほかの多結晶シリコンよりも「曲げ特性」や「加工性」が優れており、円盤や角板、円筒など、あらゆる形状に加工できるため、高い評価を得ています。一方向凝固・力を上方向へ開放・不純物を排出冷却溶解三菱マテリアル電子化成㈱シリコンパーツ事業部シリコンパーツ開発部部長三菱マテリアル電子化成㈱シリコンパーツ事業部シリコンパーツ製造部担任加熱原料投入一方向凝固法インゴット抜出し結晶成長09柱状晶シリコンとは？タイムリーな製品供給で半導体産業の発展に貢献したい製品の品質を守り続け増産体制を支えていく
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