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TCO用AZO系靶材

替代ITO的导电性透明膜

AZO(Al2O3-ZnO)是可以用于形成既透明又具有良好导电性的,即所谓TOC(Transparent Conductive Oxide)膜的靶材。
ITO(In2O3-SnO2)中使用了价格昂贵,且有可能对人体造成不良影响的In2O3。AZO作为其替代材料,近年来倍受关注。

三菱综合材料株式会社AZO靶材的特点

  • 高密度化,组织均匀从而具有稳定的放电特性
  • 根据客户用途,为客户提供最佳的构成。其中一例便是,通过扩大AZO能带间隙,设计了本公司独有构成材料,可以作为太阳能电池用透明导电膜提高转换效率。另外,与以往的AZO相比,具有可见光短波段透过率高的特点,可应用于要求较高透过率的用途。

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