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B-Si靶材

运用本公司集团固有技术

三菱综合材料集团长年致力于号称全球质量最高的高纯度多晶硅及硅晶片等半导体硅原料的制造。利用这些本公司集团固有技术,制造销售满足各种不同用途的各类硅靶材。

三菱综合材料株式会社硅靶材的特点

  • 可从单晶、柱状晶、多晶中选择
  • 类型:P型(B Dope)
  • 可提供能进行DC溅镀的低电阻型
  • 抑制溅镀过程中的裂痕
  • 最大可制造Φ500mm
  • 也可制造成平板、圆筒形状

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