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TiWターゲット

拡散防止膜としての実績

TiWターゲットは金属の拡散を防止するキーマテリアルです。形成される膜は高融点で、半導体の拡散防止膜として広く利用されています。

三菱マテリアルのTiWターゲットの特長

  • グループ内で原料W粉末を製造しており、安定した生産、供給が可能
  • 高純度・高密度かつ均質な組織
  • Ti含有量の調整が可能
  • Φ450mmサイズの大型ターゲットまで製造可能

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