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ラインナップ

スパッタリングターゲット製品ラインナップ

分野製品
太陽電池 CuGa、CuGaNa、CuGaX、CuInGa、CIGS、ZnSx、SnSx、CuSx、CZTS、In-X、Ag及びAg合金、Al及びAl合金、Cu及びCu合金、Ni及びNi合金、AZO、i-ZnO、ZnO-MgO、導電性Nb2O5、etc.
ディスプレイ および
タッチパネル
Ag及びAg合金、Al及びAl合金、Cu及びCu合金、B-Si、Si-X、Ti、導電性Nb2O5、導電性TiO2、AZO、etc.
記録メディア InAgSbTe、GeSbTe、GeSbTeSn、Ag及びAg合金、Al合金、Cu合金、ZnS-SiO2、高屈折率材料、低屈折率材料、etc.
半導体 TiW、Au、Ni、Si、Ti、CrSix、MoSix、TaSix、TiSix、WSix、Ru、etc.
その他
機能性膜
金属系Co、Pd、Pt、Ru、Sn、各種合金
セラミックス系Al2O3、SiO2、Ta2O5、ZnOベース保護膜、AZO-low n、サイアロン(SiAlON)、各種複合酸化物、Ta-SiO2、各種金属-セラミックス混合物
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