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B-Siターゲット

当社グループ固有技術を活用

三菱マテリアルグループでは、半導体用シリコン原料として世界最高水準の品質を誇る高純度多結晶シリコンの製造からシリコンウェーハ等の製造を長年続けてきました。これらの当社グループ固有の技術を生かし、様々な用途に対応する各種シリコンターゲットを製造・販売しています。

三菱マテリアルのシリコンターゲットの特長

  • 単結晶、柱状晶、多結晶から選択可能
  • タイプ:P型(Bドープ)
  • DCスパッタリング可能な低抵抗タイプの供給可能
  • スパッタリング中の割れを抑制
  • 最大Φ500mmまで対応可能
  • 平板、円筒形状にも対応

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