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AZO-low nターゲット

多機能バリア膜を提供

AZO-low nターゲットは、三菱マテリアル独自組成の多機能ターゲットで、その膜は高透過率水蒸気バリア層などとして、太陽電池・ディスプレイをはじめ、種々のデバイスに応用展開できます。

三菱マテリアルのAZO-low nターゲットの特長

  • 高透明性・低b*値・低ヘイズ率をあわせ持つAZO-low n膜を形成可能
  • 水蒸気透過率(WVTR)が低い膜を形成し、水蒸気バリアを要する電子機器にも適用可能
  • 添加元素量制御により、DCスパッタによる大電力、高速スパッタリングを実現
AZO-low n膜とその他の膜のWVTR値比較

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