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シリコン精密加工品

シリコン精密加工品

三菱マテリアルは、高純度、高精度な各種シリコン精密加工品を提供しています。

固有技術を結集

三菱マテリアルグループでは、半導体用ポリシリコンやシリコンウェーハ等の製造を長年続けてきました。三田工場では、これらの固有技術を生かし様々な用途に対応するシリコン精密加工品を製造・販売しています。

シリコンウェーハ 柱状晶シリコン シリコン精密加工品

三菱マテリアルのシリコン精密加工品の特長

  • 大型結晶製造技術を有する
    (単結晶:最大Φ530mm、柱状晶:最大□1000mm)
  • 脆性材料に対して、加工時のダメージを抑制
  • 板状、リング状、細穴加工等、各種形状に対応可能
     ※特殊形状製造のご希望がございましたらご相談ください。
  • スパッタリングターゲットに対応可能

シリコン精密加工品に使用する素材例

結晶単結晶・柱状晶など
純度6-8N
タイプP型(Bドープ)
比抵抗0.00001-1Ω・m (0.001-100Ω・cm)
シリコン精密加工品 ストレート細穴断面 屈曲細穴断面

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