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めっき特性

代表例として、高速タイプSnAgめっき液TS-507は3.5~7.5(µm/min)のめっき速度においても優れたウェーハ面内高さ・組成ばらつきで更に平滑な表面のバンプを形成できます。

ウェハ面内での高さ均一性(コプラナリティー) めっき速度によるバンプめっき外観 リフロー後のバンプX線透過写真

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