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スパッタ・蒸着膜の代替としての薄膜形成用AuSnペースト

必要な個所のみに、短時間でAuSnペーストを供給でき、リフロー処理することで容易にAuSn薄膜を形成できます。ステンシルマスク及びペースト仕様を選定することで<5µm厚のAuSn薄膜が得られます。

ペースト印刷法で得られた厚み4µmのAuSn薄膜の断面写真

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